Тарҳрезии оптикӣ дорои доираи васеи барномаҳо дар соҳаи нимноқилҳо мебошад. Дар мошини фотолитография, системаи оптикӣ барои тамаркуз кардани чӯби нури аз манбаи рӯшноӣ баровардашуда ва ба пластинкаи кремний барои фош кардани шакли схема масъул аст. Аз ин рӯ, тарҳрезӣ ва оптимизатсияи ҷузъҳои оптикӣ дар системаи фотолитография роҳи муҳими беҳтар кардани кори мошини фотолитография мебошад. Инҳоянд баъзе ҷузъҳои оптикие, ки дар мошинҳои фотолитография истифода мешаванд:
Ҳадафи проекция
01 Ҳадафи проексия ҷузъи асосии оптикии мошини литография мебошад, ки одатан аз як қатор линзаҳо, аз ҷумла линзаҳои барҷаста, линзаҳои конкавӣ ва призмаҳо иборат аст.
02 Функсияи он аз он иборат аст, ки шакли схемаи ниқобро хурд карда, онро ба вафли бо фоторезист фаро гирифташуда равона созад.
03 Дақиқӣ ва иҷрои ҳадафи проексия ба ҳалли ва сифати тасвири мошини литографӣ таъсири ҳалкунанда доранд.
Зеркало
01 оинахобарои тағир додани самти нур ва ба ҷои дуруст равона кардани он истифода мешаванд.
02 Дар мошинҳои литографияи EUV оинаҳо махсусан муҳиманд, зеро нури EUV аз ҷониби маводҳо ба осонӣ ҷаббида мешавад, бинобар ин оинаҳои дорои инъикоси баланд бояд истифода шаванд.
03 Дурустии сатх ва устувории рефлектор низ ба кори мошини литография таъсири калон мерасонад.
Филтрҳо
01 Филтрҳо барои нест кардани дарозии мавҷҳои номатлуби рӯшноӣ истифода мешаванд, дақиқӣ ва сифати раванди фотолитографияро беҳтар мекунанд.
02 Бо интихоби филтри мувофиқ метавон кафолат дод, ки танҳо нури дарозии мавҷи мушаххас ба мошини литография ворид шуда, ба ин васила дақиқӣ ва устувории раванди литографияро беҳтар мекунад.
Призмаҳо ва дигар ҷузъҳо
Илова бар ин, мошини литография метавонад ҷузъҳои дигари оптикии ёрирасон, аз қабили призмаҳо, поляризаторҳо ва ғайраро барои қонеъ кардани талаботи мушаххаси литография истифода барад. Интихоб, тарҳрезӣ ва истеҳсоли ин ҷузъҳои оптикӣ бояд ба таври қатъӣ стандартҳои техникӣ ва талаботҳои дахлдорро риоя кунанд, то дақиқии баланд ва самаранокии мошини литографиро таъмин кунанд.
Хулоса, татбиқи ҷузъҳои оптикӣ дар соҳаи мошинҳои литографӣ ба баланд бардоштани самаранокӣ ва самаранокии истеҳсоли мошинҳои литография ва ба ин васила ба рушди саноати микроэлектроника мусоидат мекунад. Бо рушди пайвастаи технологияи литография, оптимизатсия ва навоварии ҷузъҳои оптикӣ инчунин потенсиали бештарро барои истеҳсоли чипҳои насли оянда фароҳам меорад.
Барои фаҳмиши бештар ва маслиҳати коршиносон, ба вебсайти мо дар ин ҷо муроҷиат кунедhttps://www.jiujonoptics.com/дар бораи маҳсулот ва роҳҳои ҳалли мо бештар маълумот гиред.
Вақти фиристодан: январ-02-2025
