Субстрат:Кремнийи ултрабунафш
Таҳаммулпазирии андоза:-0,1мм
Таҳаммулпазирии ғафсӣ:±0,05мм
Ҳамвории рӯи:1(0,5)@632,8нм
Сифати рӯи:40/20
Канорҳо:Замин, 0,3 мм макс. Панели паҳнои пурра
Диафрагмаи тоза:90%
Марказ:<1'
Пӯшидани:Рабс<0,25%@Дарозии мавҷҳои тарроҳӣ
Ҳадди зарар:532нм: 10Дж/см², набзи 10нс
1064нм: 10Дж/см²,набзи 10нс